高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應(yīng)用用于平坦，無孔表面的工作平臺。使用者通常是機(jī)器操作員。在金屬加工領(lǐng)域，這是一項安全可靠的工件傳輸。自動化搬運(yùn)、對象吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進(jìn)行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具，應(yīng)用于減薄、劃片、清洗、搬運(yùn)等工序。Fountyl公司生產(chǎn)的工作盤可以和日本、德國、以色列、美國及國產(chǎn)的設(shè)備配套使用，具有優(yōu)越的性能價格比。經(jīng)過摻入高溫（１5００℃）的溶蝕粘結(jié)物.揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

種微孔真空吸盤工作臺的制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】

[0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺，屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】

[0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非常快，因此需求量非常大。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機(jī)，目前我國*有少數(shù)的幾家工廠擁有這種設(shè)備，在生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓劃片機(jī)的工作臺壽命較短，由于其結(jié)構(gòu)的不合理通常I?6個月即會變形，在生產(chǎn)過程中，隨溫度變化也會變形加快。

【實用新型內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于，提供一種微孔真空吸盤工作臺，它能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)更合理，使用壽命更長的工作臺。揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、磁性材料、電子行業(yè)。

2、工業(yè)高溫窯爐

氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率低、熱容小、耐機(jī)械振動等性能，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐，陶瓷燒成窯，石油化工中的裂解爐、燃燒爐等的隔熱爐襯材料。

氧化鋁陶瓷應(yīng)用于固體火箭發(fā)動機(jī)噴管，使噴管設(shè)計**簡化，部件數(shù)量減少50%，質(zhì)量減輕50%。也可應(yīng)用于航天飛機(jī)的隔熱材料，美國“哥倫比亞”號航天飛機(jī)隔熱板襯墊用的是Saffil氧化鋁陶瓷，能經(jīng)受1600 ℃的高溫。

4、陶瓷基復(fù)合材料

采用**度、高彈性的氧化鋁陶瓷與陶瓷基體復(fù)合技術(shù)，能制備韌性優(yōu)良的陶瓷基復(fù)合材料，可明顯提高陶瓷產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平，帶動高技術(shù)陶瓷產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。

吸音材料多孔陶瓷具有連通開氣孔，當(dāng)聲波傳入時，在很小的氣孔內(nèi)受力振蕩。振動受到的摩擦和阻礙，使聲波傳播受到，導(dǎo)致聲音衰減，從而起到吸音的作用。是一種消除噪聲公害，益于人們身心健康的好材料。作為吸音材料的多孔陶瓷要求較小的孔徑(20～150/um)，相當(dāng)高的氣孔率(>60%)及較高的機(jī)械強(qiáng)度。陶瓷所具有的優(yōu)良的耐火性和耐候性，使它可用于變壓器、道路、橋梁等的隔音?，F(xiàn)在已在高層建筑、隧道、地鐵等防火要求極高的場合及電視發(fā)射中心、影劇院等有較高隔音要求的場合使用，效果很好。隱身材料多孔陶瓷吸波涂料是一種研制較多的吸波材料，它比鐵氧體、復(fù)合金屬粉末等吸波涂料的密度低、吸波性能好，而且還可以有效地減弱紅外輻射信號。另外，多孔陶瓷具有良好的力學(xué)性能、熱物理性能和化學(xué)穩(wěn)定性，能滿足隱身的要求。的F-117隱身飛機(jī)的尾噴管就使用了多孔陶瓷基吸波材料達(dá)到飛機(jī)隱身的目的。研磨后的表面光滑平整，可替代國外進(jìn)口材料.

高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650—1990℃，透射波長為1～6μm，在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。

 氧化鋯陶瓷呈白色，含雜質(zhì)時呈黃色或灰色，一般含有HfO2，不易分離。在常壓下純ZrO2共有三種晶態(tài)。氧化鋯陶瓷的生產(chǎn)要求制備高純、分散性能好、粒子超細(xì)、粒度分布窄的粉體，氧化鋯超細(xì)粉末的制備方法很多，氧化鋯的提純主要有氯化和熱分解法、堿金屬氧化分解法、石灰熔融法、等離子弧法、沉淀法、膠體法、水解法、噴霧熱解法等。電子行業(yè)**微孔陶瓷真空吸盤.揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

在濕度大，有粘合液體的環(huán)境下也可以工作。揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

一、陶瓷的增韌方法目前，陶瓷的增韌方法主要有：相變增韌、顆粒增韌、纖維增韌、自增韌、彌散韌化、協(xié)同增韌、納米增韌等。1、相變增韌相變增韌是指亞穩(wěn)定四方相t—ZrO2在裂紋前列應(yīng)力場的作用下發(fā)生一相變，形成單斜相，產(chǎn)生體積膨脹，從而對裂紋形成壓應(yīng)力，阻礙裂紋擴(kuò)展，起到增韌的作用。此外，外界條件（如激光沖擊、疲勞斷裂韌性、低溫、晶粒尺寸和含量、臨界轉(zhuǎn)變能量等）對氧化鋯陶瓷相變增韌有很大的影響，如果相變產(chǎn)生大的應(yīng)力和體積變化，則產(chǎn)品容易斷裂，因此生產(chǎn)過程中，應(yīng)避免外界因素對氧化鋯陶瓷相變增韌的影響。揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

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